Mim キャパシター 半導体 構造
Web【図1】従来技術によるMIMコンデンサ構造を有した半導体デバイスの断面図である。 【図2A】半導体デバイスのメタライゼーション層全体に属している底部プレートを有したMIMコンデンサが形成されている、本発明の好ましい実施形態の断面図である。 Webを電極で挟んだMIM(Metal-Insulator-Metal)構造の薄膜 キャパシタが有利である。しかし、薄膜キャパシタは 積層コンデンサと比較すると電極面積が小さく、容量 が低いことが問題となっている。また低ESL 化には配 線長短縮が有効であるが、半導体チップと薄膜 ...
Mim キャパシター 半導体 構造
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